При данном виде стерилизации в качестве химических реагентов применяют перекись водорода и надкислоты (надуксусную и надмуравьиную). Основными параметрами эффективности стерилизации являются концентрация действующего вещества, температура стерилизующего раствора и время стерилизационной выдержки.
При стерилизации 6%-ной перекисью водорода температура раствора должна быть не менее 18 °С, время стерилизационной выдержки составляет 6 ч, а при температуре 50 °С — уже 3 ч. Во время стерилизации изделие должно быть полностью погружено в раствор в закрытых емкостях из стекла, пластмассы или емкостях, покрытых неповрежденной эмалью.
После стерилизации изделия в асептических условиях промываются стерильной водой. Данным методом стерилизуют изделия из стекла, резины, полимерных материалов, коррозионно-стойких металлов. Контроль качества проводится с помощью химических и физических методов.